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TFT液晶显示屏-LCD显示屏的制造工艺

2023-02-24 1353

TFT液晶显示屏-LCD显示屏通过什么制造工艺发挥其在显示屏中的巨大优势?本文重点介绍深圳星宇和电子技术人员对TFT-LCD的制造工艺的详细介绍,希望对您有所帮助。


TFT液晶显示屏-LCD彩色液晶屏模块

1.薄膜晶体管液晶显示器的制造过程包括以下几个部分


①在薄膜晶体管基板上形成薄膜晶体管阵列;


2)在彩色滤光片基板上形成彩色滤光片图案和ITO导电层;


(3)形成具有两个基板的液晶盒;


④用于安装外围电路、组装背光等的模块组件。

TFT液晶显示屏

第二,在TFT液晶显示屏基板上形成TFT阵列的过程


现在已经产业化的TFT液晶显示屏类型有非晶硅TFT (a-Si TFT)、多晶硅TFT (p-Si TFT)和单晶硅TFT(c-Si TFT)。目前还在使用a-Si TFT。


非晶硅薄膜晶体管的制造过程如下:


(1)首先在硼硅玻璃衬底上溅射栅极材料薄膜,经过掩膜曝光、显影和干法刻蚀后形成栅极布线图形。用于普通掩模曝光的步进曝光机。


②用PECVD法进行连续成膜,形成SiNx膜、未掺杂a-Si膜和掺磷n+a-Si膜。然后,进行掩模曝光和干法蚀刻以形成TFT部分的a-Si图案。


③通过溅射成膜法形成透明电极(ITO膜),然后通过掩膜曝光和湿法刻蚀形成显示电极图形。


④通过掩模曝光和干法蚀刻形成栅极端子处的绝缘膜的接触孔图案。


(5)溅射AL等以形成薄膜,用掩模曝光和蚀刻以形成TFT的源极、漏极和信号线图案。通过PECVD方法形成保护绝缘膜,然后通过掩模曝光和干法蚀刻对绝缘膜进行蚀刻和成形(保护膜用于保护栅电极、信号线电极端子和显示电极)。


TFT液晶显示屏阵列工艺是TFT液晶显示屏-LCD制造工艺的关键,也是设备投入较大的部分。整个过程需要在非常高的净化条件下进行(比如10级)。


第三,在滤色器(CF)基板上形成滤色器图案的过程


彩色滤光片的着色部分的形成方法包括染料法、颜料分散法、印刷法、电解沉积法和喷墨法。目前主要是颜料分散法。


颜料分散法是将颗粒均匀(平均粒径小于0.1微米)(R、G、B)的精细颜料分散在透明光敏树脂中。然后,将它们依次涂布、曝光和显影,形成红绿蓝三色图案。制造中使用光刻技术,使用的器件主要是镀膜、曝光、显影器件。


为了防止漏光,通常在RGB的交界处加入黑矩阵(BM)。过去用溅射法形成单层金属铬膜,现在也有金属铬和氧化铬复合的BM膜或混合碳树脂的树脂BM。


另外还需要在BM上做保护膜,形成IT0电极,因为带滤色器的基板是液晶屏的前基板,带TFT的后基板共同构成了液晶盒。所以一定要注意定位问题,让彩色滤光片的每个单元对应TFT基板的每个像素。


四。液晶盒的制备工艺


在上基板和下基板的表面分别涂覆聚酰亚胺薄膜,形成能够诱导分子按照摩擦过程的要求进行排列的取向膜。然后,在TFT阵列基板周围铺设密封材料,并在基板上喷涂衬垫。同时,在CF基板的透明电极端部涂覆银浆。然后,将两个基板对准并结合,以将CF图案与TFT像素图案对准,并通过热处理固化密封材料。在印刷密封材料时,需要留一个注入口,这样可以通过真空填充液晶。


近年来,随着技术的进步和基板尺寸的不断增大,盒子的制造技术也有了很大的提高。比较有代表性的是充晶方式的改变,由原来的盒充法改为ODF法,即充晶和盒成型同时进行。此外,衬片法不再使用传统的喷涂方法,而是通过光刻直接制作在阵列上。


5.外围电路、背光组件等模块组装工艺。


在液晶盒的制造过程完成后,需要在面板上安装外围驱动电路,然后在两个基板的表面贴上偏振片。如果是透射式LCD,应该安装背光。


材料和工艺是影响产品性能的两个主要因素。TFT液晶显示屏-LCD显示屏经过以上四个主要工序,大量复杂的制造工艺形成了我们看到的产品。

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